央广网北京7月25日消息（记者曹倩实习生谢容容） “中国芯片市场巨大，如若能将芯片制造中心往中国转移，带动整个产业链发展，这是求之不得的事。当然也还要继续坚持国际合作，否则就跟国际最先进的技术脱钩了。”拓利科技董事长吕光泉日前做客《沪市汇·硬科硬客》第十期节目“ 半导体 设备突围关键局”时表示。 凭借十多年技术积累， 拓荆科技 自主研发并推出多个薄膜设备系列产品及混合键合设备系列产品。薄膜系列产品在国内集成电路逻辑芯片、 存储芯片 等制造产线已实现广泛应用，成熟量产的设备性能指标均达到国际同类设备先进水平。 截至2023年末， 拓荆科技 累计出货超过1500个反应腔，进入60多条生产线。吕光泉预计，2024年全年出货超过1000个反应腔，创历史新高。 对于公司未来3-5年的战略经营规划，吕光泉表示，第一优先是继续聚焦高端 半导体 设备领域，做大成熟产品的市占率，同时持续发展Chiplet业务，最终走向更大的国际舞台。 经历过“吃了多次散伙饭”、“送设备并给钱求人验证被拒绝”等种种创业的艰辛，吕光泉对于产业中的某些资源浪费情况表达了关切。 “某些社会资本扶持一些小企业，从头部企业挖人过去，照抄产品以极低的价格销售。这对营商环境是相当不利的，会成为往前发展的一个障碍。”吕光泉建议出台一些规章制度对这种资源浪费进行限制，促进产业链良性发展。 2024年将出货上千个反应腔创历史新高 近年来，中国 半导体 设备产业经历了显著的蜕变，国产化进程进一步加快，在全球市场的占有率也在稳步提升。 据国际半导体产业协会（SEMI）、日本半导体制造装置协会（SEAJ）统计数据，2023年全球芯片设备（新品）销售额为1062.5亿美元，同比萎缩1.3%。中国市场销售额年增29%至366亿美元，连续第四年成为全球最大芯片设备市场。 拓荆科技 自2010年创立以来，始终深耕于半导体设备中的薄膜沉积设备和混合键合设备的研发和产业化，形成一系列具有自主 知识产权 的核心技术和量产成果。 据吕光泉介绍，拓荆科技的等离子增强化学气相沉积（PECVD）、亚常压化学气相沉积（SACVD）、高密度等离子体化学气相淀积（HDPCVD）设备工艺种类已实现全面覆盖，原子层沉积（ALD）、混合键合等设备产品陆续通过客户验证，进入客户量产线，并不断扩大量产规模。 截至2023年末，拓荆科技累计出货超过1500个反应腔，进入60多条生产线。预计2024年全年出货超过1000个反应腔，创历史新高。 “从目前国内生产线的技术节点来看，上述设备都实现了100%全覆盖，在客户端应用蛮广泛。后续要跟客户合作更加紧密，往更先进的技术节点去推进。”吕光泉表示。 此外，Chiplet这一领域，也在近年来愈发受到关注。Chiplet即“芯粒”，是一个或多个芯片的小型集合，可以独立制造、独立设计，并且在集结后可以形成一个更强大的芯片，就像搭建乐高积木一样。 “我们在这个领域已发力四五年了，2023正式推入客户端，实现量产。”吕光泉透露。 谈及拓荆科技的自主可控进程，吕光泉表示，成熟产品都能够达到自主可控，拓荆所专注的化学薄膜沉积设备应用覆盖面可达到100%，一些先进产品还需要时间。 “拓荆科技起步较晚，其中一些差距需要应用场景来给我们提供机会继续向前。”吕光泉表示。 相较于国际竞争对手，拓荆科技的优势公司管理和技术团队更贴近主要客户，能够更直接、高效地参与到客户的研发和生产中去，为其提供技术支持和售后服务，及时保障和满足客户需求。 从0到1、从1到10的不同实践路径 回想起创业初期，拓荆科技面临诸多困难一步步走到今天的心路历程，吕光泉仍觉艰难困苦。 “拓荆创立的时候，国内对半导体都没有什么概念，更何况半导体设备。那时候无论是找资本，还是求客户认同，都非常困难。”吕光泉解释，这一困难不是体现在难以出售给对方，而是送设备并给钱去验证，他们都未必愿意去做。 这期间，创始团队吃过多次散伙饭，有一次甚至已经遣散了团队。 “好在又把团队收了回来，才有了今天的成就。其实我想说，贵在坚持，坚持就是胜利。”吕光泉表示。 据吕光泉介绍，拓荆科技最初依托国家“十一五”02重大专项成立，国家和地方政府都给予了大力支持。这笔资金也支撑拓荆科技能够从0走到1。 “当时几乎就是从0起步，在创始团队带领下引进行业资深专家、培养国内技术团队，组建了一支专业的研发团队。”吕光泉表示，在团队的共同努力下，不断攻克关键技术，逐步形成了PECVD等薄膜系列产品。 从1往10走，则主要依靠国家级的风险投资来完成。 “快速拓展市场对资本的需求量巨大，靠个人集资非常困难，尤其公司还在创业早期。”吕光泉坦言。 吕光泉表示，在公司产品和市场拓展初有成果后，先后得到了当地产业基金、国家大基金、国投创业等基金的加持，为公司发展关键期提供了资金支持。而人才的引进与培养促使公司不断创新研发，最终形成一系列拥有自主 知识产权 的核心技术和设备产品。 为保持技术领先，进一步扩大业务规模、提高市场占有率，2022年4月，拓荆科技成功登陆上海 证券 交易所科创板，为公司的持续高质量发展提供了有力的资金支持。 “这个行业多年来一直在不断地更新迭代，每一两年就要迭代一次，每次迭代都会带来技术上或其他地方的调整。也正是这些挑战激励着我们一直坚持了下来。”吕光泉表示。 对本土化求之不得国际合作也得继续
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