俄羅斯公佈自研EUV光刻機路線圖,目標小規模製造

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文章來源:Qooah.com 俄羅斯計劃開發一種新型的極紫外(EUV)光刻機,該技術以更低的成本和更簡便的製造[…[…
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作者 test33271141

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